VAIS-PB

電子顯微鏡容易受到由多種因素引起的振動干擾,包括地板振動輸入引起的結(jié)構(gòu)共振。氣浮被動隔振系統(tǒng)無法提供足夠的振動環(huán)境來發(fā)揮顯微鏡觀察高倍率和高分辨率圖像的最佳性能。
VAIS-PB 是針對電子顯微鏡(SEM、TEM 和 FIB)優(yōu)化的基礎平臺型主動隔振系統(tǒng)。 憑借其氣動支撐框架,優(yōu)于競爭對手的金屬彈簧系統(tǒng),有效地消除非周期性脈沖振動。
自 2015 年成功商業(yè)化以來,該系統(tǒng)的高性能能力已應用于全球多家電子顯微鏡制造商。
技術優(yōu)勢
1. 高阻尼氣動支撐架
高阻尼氣動支撐架增強了 VAIS-PB 對非周期性脈沖振動的穩(wěn)定性。
2. 前饋控制
利用反饋和前饋控制,VAIS-PB 具有出色的防止低頻(小于 10Hz)振動干擾的能力,這是電子顯微鏡的一個關鍵因素。
3. 狀態(tài)指示燈
前面板上的三個 LED 燈(紅、綠、藍)方便地通知用戶振動環(huán)境的變化和可操作性。
4. 自我診斷
數(shù)字控制的 VAIS-PB 設計用于方便地自我診斷與操作相關的故障,例如重心變化。
5. 遠程支持
提供遠程實時支持,方便性能診斷和技術支持。
性能
1.隔振性能(傳遞率)
【應用領域】
一 應用說明
1.電子顯微鏡和掃描電鏡內(nèi)置氣動被動減振系統(tǒng),需要低于 10Hz 的低頻振動干擾的環(huán)境,低頻振動干擾通常由建筑物的結(jié)構(gòu)共振產(chǎn)生。 VAIS-PB 在共振范圍內(nèi)隔離的振動是被動隔振系統(tǒng)的 300 到 500 倍。
2.在 2014 年將該系統(tǒng)成功應用于Quanta 250 FEG多用途掃描電鏡 后,VAIS-PB 繼續(xù)在日立、蔡司、Jeol、Tescan 等廠商的其他幾款電子顯微鏡和掃描電鏡中表現(xiàn)出出色的性能。
3 VAIS-PB 通其氣動支撐框架提供穩(wěn)定的振動環(huán)境,該框架對非周期性脈沖輸入具有穩(wěn)定性。
4 使用空氣彈簧支架,VAIS-PB 可應用于各種重量的設備,從較輕的 SEM 和 FIB 到較重的 TEM 和 STM。
二 應用領域
掃描電子顯微鏡 (SEM)
聚焦離子束顯微鏡 (FIB)
透射電子顯微鏡 (TEM)
掃描隧道顯微鏡 (STM)
重載精密儀器


