VAIS-CMT
概述
氣浮被動(dòng)隔振系統(tǒng)，主要用于隔離電子顯微鏡安裝部位周圍的振動(dòng)，由于低頻共振現(xiàn)象而放大振動(dòng)。 即使在對(duì)振動(dòng)干擾相對(duì)穩(wěn)定的普通SEM的情況下，低頻區(qū)的共振現(xiàn)象也可能影響IEST VC-E 級(jí)的振動(dòng)環(huán)境，即電子顯微鏡最佳操作的最小振動(dòng)狀態(tài)。
VAIS-CMT 是一款全主動(dòng)式隔振系統(tǒng)，采用 3 軸 6 自由度控制技術(shù)，消除氣動(dòng)被動(dòng)式隔振器的共振問題。
由于金屬螺旋彈簧框架的支持，VAIS-CMT 不需要壓縮空氣供應(yīng)。 VAIS-CMT較低的高度改善了氣浮被動(dòng)減振系統(tǒng)帶來的不便。
特性
1. 易于安裝和運(yùn)輸
由金屬螺旋彈簧支撐，VAIS-CMT 不需要壓縮空氣供應(yīng)，可以方便地運(yùn)輸和安裝在任何有電的地方。
2. 前饋控制
利用反饋和前饋控制，VAIS-CMT 具有出色的防止低頻振動(dòng)干擾的能力，這是被動(dòng)隔振系統(tǒng)無法做到的。
3. LED 狀態(tài)指示燈
前面板上的三個(gè) LED 燈（紅、綠、藍(lán)）方便地顯示振動(dòng)環(huán)境變化和可維修性的狀態(tài)。
4. 自我診斷
數(shù)字控制的 VAIS-CMT 設(shè)計(jì)用于方便地自我診斷與操作相關(guān)的故障，例如重心變化。
5. 遠(yuǎn)程支持
提供遠(yuǎn)程實(shí)時(shí)支持，方便性能診斷和技術(shù)支持。
性能
1.隔振性能（傳遞率）
